Rodamientos de precisión, Coronas y Guías lineales para la tecnología de semiconductores y la automatización de salas blancas

Precisión y fiabilidad

En la tecnología de semiconductores, la precisión, la compatibilidad con salas blancas y la fiabilidad de los procesos son factores decisivos para la calidad del producto y la rentabilidad. Ya se trate de la manipulación de obleas, la litografía, los sistemas de inspección o la automatización de salas blancas, las modernas instalaciones para la fabricación de chips plantean los requisitos más exigentes a cada uno de los componentes.

Franke apoya a los fabricantes de equipos originales (OEM) y a los fabricantes de instalaciones con soluciones innovadoras Rodamientos, coronas y guías lineales diseñados específicamente para tareas de movimiento de alta precisión. Gracias a su diseño compacto, su reducido peso y su gran capacidad de integración, contribuyen a que las máquinas sean más potentes, eficientes y rentables.

Tecnología de semiconductores y fabricación de chips

La fabricación de semiconductores modernos exige la máxima estabilidad del proceso a escala microscópica. Al mismo tiempo, los requisitos en materia de dinámica, automatización y rentabilidad aumentan continuamente. Por ello, los diseñadores y los fabricantes de equipos se enfrentan al reto de realizar movimientos de alta precisión de forma segura y reproducible en condiciones ambientales complejas.

  • Requisitos de sala limpia y contaminación
    Incluso las partículas más pequeñas pueden afectar a la calidad de los procesos de fabricación sensibles. Por ello, los componentes deben ser aptos para salas limpias, presentar bajas emisiones y contribuir a evitar la contaminación.
     
  • Máxima precisión y repetibilidad
    En los sistemas de manipulación de obleas, las instalaciones de inspección o los sistemas de litografía, el posicionamiento exacto es fundamental. Se exigen desviaciones mínimas de concentricidad, la máxima repetibilidad y secuencias de movimiento estables a largo plazo.
     
  • Movimientos dinámicos y tiempos de ciclo cortos
    Las modernas instalaciones de fabricación deben alcanzar altos rendimientos. Esto requiere altas velocidades, fuertes aceleraciones y, al mismo tiempo, movimientos precisos y controlados.
     
  • Espacio de montaje limitado
    La integración de funciones adicionales en diseños de máquinas cada vez más compactos plantea grandes exigencias al diseño y a los componentes. Las soluciones que ahorran espacio se convierten en una ventaja competitiva decisiva.
     
  • Máxima fiabilidad
    Las paradas en la fabricación de chips generan altos costes. Los componentes deben funcionar de forma fiable y duradera, minimizar los gastos de mantenimiento y contribuir a la máxima disponibilidad de la instalación.
     
  • Rentabilidad a lo largo de todo el ciclo de vida
    Además del rendimiento técnico, la reducción de peso, los diseños simplificados y un bajo coste total de propiedad cobran cada vez más importancia.

Nuestras soluciones para la industria de los semiconductores

Rodamientos Franke para aplicaciones de movimiento de alta precisión

Rodamientos Franke combinan un peso reducido con una elevada capacidad de carga y una libertad de diseño excepcional. Gracias al probado principio de Franke, las pistas de rodadura se diseñan independientemente de la carcasa, lo que permite geometrías personalizadas e integraciones a medida del cliente.

Sus ventajas

  • Alta precisión en movimientos rotativos

  • Masas en movimiento reducidas

  • Dinámica y eficiencia energética optimizadas

  • Diseños de máquinas compactos

  • Adaptación personalizada a aplicaciones en salas blancas y de semiconductores


Guías lineales Franke para tareas de posicionamiento dinámico

Las guías lineales de Franke permiten movimientos lineales precisos, al tiempo que ofrecen un alto nivel de dinámica y una larga vida útil. Son adecuadas para numerosas aplicaciones en el ámbito de la tecnología de semiconductores y la automatización de salas blancas.

Sus ventajas

  • Posicionamiento preciso de obleas y conjuntos

  • Altas aceleraciones

  • Tiempos de ciclo cortos

  • Modelos personalizados

  • Adaptación a condiciones ambientales específicas

Coronas Franke para grandes diámetros con alta precisión

En sistemas de inspección, equipos de manipulación de obleas o soluciones robóticas, los acoplamientos giratorios de Franke permiten movimientos giratorios de alta precisión, incluso con diámetros grandes.

 

Sus ventajas

  • Alta precisión de concentricidad
  • Amplio espacio libre central para el paso de cables, fluidos y conductos de proceso
  • Peso reducido a pesar de sus grandes dimensiones
  • Integración de conjuntos complejos
  • Condiciones óptimas para arquitecturas de instalaciones modernas
     

Libertad de diseño para conceptos de maquinaria innovadores

Gracias a sus soluciones de aluminio, geometrías personalizadas y amplias posibilidades de integración, Franke ayuda a los diseñadores a hacer realidad conceptos de maquinaria innovadores.
 

Ventajas para desarrolladores y diseñadores

  • Integración de funciones en lugar de módulos adicionales

  • Reducción del número de componentes

  • Diseños simplificados

  • Mayor eficiencia energética

  • Diseños a medida para aplicaciones exigentes

Nuestras ventajas para la industria de semiconductores

  • Especialmente adecuado para aplicaciones exigentes en la tecnología de semiconductores
  • Alta precisión y repetibilidad
  • Soluciones compatibles con salas limpias
  • Bajo peso con alta capacidad de carga
  • Diseño compacto para instalaciones de alta densidad
  • Alta dinámica y ciclos cortos
  • Adaptación individual a cada aplicación
  • Gran libertad de diseño gracias a la tecnología de rodamientos de alambre
  • Integración de funciones y componentes adicionales
  • Reducción de peso, espacio y consumo de energía
  • Alta fiabilidad y disponibilidad
  • Apoyo para reducir el costo total de propiedad

Esempi di applicazione nella tecnologia dei semiconduttori

Guías lineales Franke para la tecnología de semiconductores y la fabricación de chips

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